用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。 
【性能特点】     
●量程： 
 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM 
●准确度： 
 ±1% F.S                                 
●线性： 
 ±0.5～1% F.S      
●重复精度：  ±0.2% F.S  
●响应时间：  10S  
●气压降：  <0.01MP  
●最大压力：  10MP  
●工作环境温度：  5～45℃  
●输出信号：  0～+5.00V   管道热式质量流量计  
●电源：  +15V 50mA -15V 200mA   
●外形尺寸：  158.7*60*198，161.7*60*198可选   　  
●重量：  2.5 Kg  
●防爆等级：  Exd II BT6